پروفایلومتر

پروفایلومتر (به انگلیسی: Profilometer) یک دستگاه اندازه‌گیری است که برای اندازه‌گیری پروفیل سطح و تعیین زبری آن استفاده می‌شود. ابعاد حیاتی مورد نیاز از جمله پله، انحنا و میزان مسطح بودن از روی توپوگرافی شکل تعیین می‌شوند.

یک پروفایلومتر تماسی در اتاق تمیز

نحوه عملکرد یک پروفایلومتر

نمای سه بعدی یک پروفایلومتر سوزنی

انواع

روش‌های نوری: شامل روش‌های تداخل‌سنجی می‌باشد از جمله: میکروسکوپ هولوگرافی دیجیتال، تداخل سنجی نور سفید، میکروسکوپ تفاضل کنتراست تداخلی. روش‌های تعیین فوکوس، از جمله: تعیین شدت، تغییرات فوکوس، تعیین تفاضل، روش زاویه بحرانی، روش آستیگماتیک، روش فوکو (foucault) و میکروسکوپ کانفوکال. روش‌های تصویرکردن (پروجکشن) الگو، از جمله: Fringe projection، پروفایلومتری فوریه، روش انعکاس مویر و روش انعکاس الگو.

روش‌های تماسی و شبه-تماسی: شامل پروفایلومتر سوزنی (stylus profilometer) میکروسکوپ نیروی اتمی و میکروسکوپ تونلی روبشی،

منابع

↑ "Profilometer". Wikipedia (به انگلیسی). 2019-03-15.
↑ Jean M. Bennett, Lars Mattsson, Introduction to Surface Roughness and Scattering, Optical Society of America, Washington, D.C.
↑ W J Walecki, F Szondy and M M Hilali, "Fast in-line surface topography metrology enabling stress calculation for solar cell manufacturing for throughput in excess of 2000 wafers per hour" 2008 Meas. Sci. Technol. 19 025302 (6pp) doi:10.1088/0957-0233/19/2/025302
↑ Stout, K. J.; Blunt, Liam (2000). Three-Dimensional Surface Topography (2nd ed.). Penton Press. p. 22. ISBN 978-1-85718-026-8.
↑ Binnig, Gerd, Calvin F Quate, and Ch Gerber (1986). ""Atomic force microscope." Physical review letters 56.9 (1986): 930". Physical Review Letters. 56 (9): 930–933. doi:10.1103/PhysRevLett.56.930. PMID 10033323.

پیوند به بیرون

[1] "Profilometer". Wikipedia (به انگلیسی). 2019-03-15.

[jean-2] Jean M. Bennett, Lars Mattsson, Introduction to Surface Roughness and Scattering, Optical Society of America, Washington, D.C.

[walecki-3] W J Walecki, F Szondy and M M Hilali, "Fast in-line surface topography metrology enabling stress calculation for solar cell manufacturing for throughput in excess of 2000 wafers per hour" 2008 Meas. Sci. Technol. 19 025302 (6pp) doi:10.1088/0957-0233/19/2/025302

[4] Stout, K. J.; Blunt, Liam (2000). Three-Dimensional Surface Topography (2nd ed.). Penton Press. p. 22. ISBN 978-1-85718-026-8.

[5] Binnig, Gerd, Calvin F Quate, and Ch Gerber (1986). ""Atomic force microscope." Physical review letters 56.9 (1986): 930". Physical Review Letters. 56 (9): 930–933. doi:10.1103/PhysRevLett.56.930. PMID 10033323.