برآرایی بخار هیدرید
اپیتکسی فاز بخار هیدرید (به انگلیسی: Hydride vapour phase epitaxy) گونهای اپیتکسی است که در ساخت گونههایی از نیمهرساناها مانند GaN، GaAs، InP کاربرد دارد. گازهای بکار رفته معمولاً شامل آمونیاک، هیدروژن، کلرید هستند.
اپیتکسی فاز بخار هیدرید (به انگلیسی: Hydride vapour phase epitaxy) گونهای اپیتکسی است که در ساخت گونههایی از نیمهرساناها مانند GaN، GaAs، InP کاربرد دارد. گازهای بکار رفته معمولاً شامل آمونیاک، هیدروژن، کلرید هستند.